SIC的反應燒結方法首先在美國成功研究。反應燒結的過程如下：首先，－ SIC粉末和石墨粉是比例混合的，多孔的綠色體是通過乾壓，擠出或灌漿製成的。當在高溫下與液體Si接觸時，綠色體內的C與浸潤的Si反應形成－SIC，並將使用－SIC組合在一起，並將過量的Si填充在毛孔中，從而獲得了非多孔和密集的反應燒結。反應燒結的SIC通常包含8％的游離Si。因此，為了確保完全浸潤，空白應具有足夠的孔隙度。通常，通過調整初始混合物－ sic和c的含量，siC的粒徑分佈，C的形狀和粒徑以及造型壓力可用於獲得適當的綠色密度。
實驗表明，具有無壓燒結，熱燒結，熱等靜力壓縮和反應燒結的SIC陶瓷具有不同的性能特徵。如果熱按燒結和熱等靜力壓縮的燒結SIC陶瓷在燒結密度和彎曲強度方面相對較高，則反應燒結SIC相對較低。另一方面，SIC陶瓷的機械性能也不同於不同的燒結添加劑。無壓的燒結，熱壓和反應燒結的SIC陶瓷對強酸和鹼具有良好的抗性，但是反應燒結的SIC陶瓷對超強酸（例如HF）的抗性較差。當溫度低於900度時，幾乎所有SIC陶瓷的強度都會提高。當溫度超過1400度時，反應燒結的SIC陶瓷的彎曲強度會急劇降低。 （這是因為燒結的身體包含一定數量的游離Si，並且彎曲強度在超過一定溫度時急劇下降。）對於被無壓燒結和熱等靜電壓力燒結的SIC陶瓷，高體溫電阻主要受到添加劑的類型影響
